全自動硅片洗凈干燥機
設備用途：
主要用于清洗125×125和156×156規格的太陽能硅片(單晶、多晶均適用)，硅片清洗厚度200μm、180μm。
設備能力:
1清洗籃尺寸：420×640mm（L×W）高度根據實際情況另定，以最終設計為主，采用不銹鋼材料制作（清洗籃底部采用全落空設計，解決清洗籃對超聲波的衰減，有效提高了超聲波對硅片清洗力度，從而保證了硅片的清洗質量）。
2清洗籃的裝載能力：同時可裝156×156太陽能硅片花籃8只，每只花籃裝25片硅片，共計200片。
3典型生產節拍：0～8min/筐（從裝籃進行清洗開始，到完成結束，清洗節拍連續可調）。
4生產能力和開機率：生產能力≥2000片/小時，開機率≥95%。
設備組成:
該設備由1個SUS316L不銹鋼超聲粗洗槽、2個SUS316L不銹鋼超聲堿洗槽、3個SUS316L不銹鋼超聲漂洗槽、1個SUS316L不銹鋼慢拉脫水槽、2個60LSUS304不銹鋼儲液槽、1個120LSUS304不銹鋼儲水槽、1個SUS304不銹鋼預加熱補水裝置、1個二工位SUS316L不銹鋼自動進料超聲預粗洗水槽、1個內膽為SUS304不銹鋼三工位熱風循環干燥出料裝置、A3鋼機架外包不銹鋼砂光板外殼、1套智能式單臂伺服機械手、1套慢提拉脫水裝置、7套超聲波清洗裝置、自動加熱恒溫裝置、自動過濾循環裝置、高低液位保護裝置、密封抽氣接口裝置、2套馬達驅動凸輪上下拋動輔助清洗裝置、PP管路系統及觸摸屏PLC電氣控制系統等組成。詳見設備結構示意圖。
工藝流程:
上料（手動）→水中自動進料（超聲預粗洗）→超聲純水粗洗（拋動、加熱）→超聲堿洗（拋動、加熱）→超聲堿洗（拋動、加熱）→超聲純水漂洗（拋動、加熱）→超聲純水漂洗（拋動、加熱）→超聲純水漂洗（拋動、加熱）→慢提脫水（加熱）→通過式三工位烘干→下料（手動）
工藝設置:
序號 | 槽號 | 工序名稱 | 清洗 介質 | 處理 時間 | 超聲 功率 | 加熱 功率 | 設置 溫度 | 循環過濾／精度 | 儲液槽 |
1 | — | 上料（手動） | — | — | — | — | — | — | — |
2 | — | 水中自動進料（超聲預粗洗） | 純水 | 0～8min | 2.1KW (40KHZ) | — | — | — | — |
3 | 01 | 超聲純水粗洗（拋動、加熱） | 純水 | 0～8min | 2.1KW （40KHZ） | 電加熱 6KW | 40--60℃ 可調 | — | — |
4 | 02 | 超聲堿洗 （拋動、加熱） | 清洗劑+純水 | 0～8min | 2.1KW （40KHZ） | 電加熱 9KW | 40--60℃ 可調 | 有/25μ | 有 |
5 | 03 | 超聲堿洗 （拋動、加熱） | 清洗劑+純水 | 0～8min | 2.1KW （40KHZ） | 電加熱 9KW | 40--60℃ 可調 | 有/15μ | 有 |
6 | 04 | 超聲純水漂洗（拋動、加熱） | 純水 | 0～8min | 2.1KW （40KHZ） | 電加熱 6KW | 40--60℃ 可調 | 有/15μ | 有 |
7 | 05 | 超聲純水漂洗（拋動、加熱） | 純水 | 0～8min | 2.1KW （40KHZ） | 電加熱 6KW | 40--60℃ 可調 | — | — |
8 | 06 | 超聲純水漂洗（拋動、加熱） | 純水 | 0～8min | 2.1KW （40KHZ） | 電加熱 9KW | 40--60℃ 可調 | — | — |
9 | 07 | 慢提脫水（加熱） | 純水 | 0～8min | — | 電加熱 9KW | 60--80℃ 可調 | — | 設有預加熱補水裝置30KW |
10 | — | 通過式三工位烘干 | 熱風循環 | 0～8min | — | 石英加熱管18KW | 80—120℃ 可調 | — | — |
11 | — | 下料（手動） | — | — | — | — | — | — | — |
注：1、該設備在設計參考的洗劑為清洗劑及純水。
設備的工作原理:
首先由人工將需要清洗的硅片裝入花籃，然后把裝滿硅片的花籃裝入清洗筐，再把清洗筐放入進料水槽中進行超聲預粗洗，待清洗筐自動輸送到起吊口后由機械手按原已設好的清洗工藝，把工件吊進相應的位置，對所要清洗的工件進行超聲純水粗洗（拋動、加熱）、超聲堿洗（拋動、加熱）、超聲堿洗（拋動、加熱）、超聲純水漂洗（拋動、加熱）、超聲純水漂洗（拋動、加熱）、超聲純水漂洗（拋動、加熱）、慢提脫水（加熱）、通過式三工位烘干及下料（手動）等，并通過控制系統觸摸屏PLC由機械手自動完成清洗工作，機械手動作后其它功能同時啟動。
